一种用天然石英粉制备高纯超细硅微粉的方法

摘要

本发明公开了一种工艺简单，生产成本低，无环境污染的用天然石英粉制备高纯超细硅微粉的方法。本发明通过下述技术方案予以实现：将优质石英原料经粗粉碎、水洗、酸洗、磁选去除杂质，用超音速气流粉碎机进行超细粉碎，用高速分级机分离出微粉，用旋风器收集，即得到平均粒径为1.0μm～4.0μm的二氧化硅微粉，其SiO₂的百分比含量≥99.95％，Fe₂O₃≤0.005％，该产品可作为环氧树脂的填料，以制备大规模或超大规模集成电路器件的封装材料，还可用制备其他高档电子器件的填料。

主权项

1、一种用天然石英粉制备高纯超细硅微粉的方法，包括将优质石英原料经粗粉碎、水洗、酸洗、磁选去除杂质，用超音速气流粉碎机进行超细碎粉，用高速分级机分离出微粉，用旋风器收集，即得到高纯超细二氧化硅微粉。