垂直型发光二极管及其制造方法

摘要

一种垂直型发光二极管及其制造方法。在垂直型发光二极管的制造方法中，先提供蓝宝石基板。再在蓝宝石基板上形成发光外延结构。接下来，在发光外延结构的表面上形成第一电性电极。接着，进行局部移除步骤，通过将部分蓝宝石基板从发光外延结构的另一表面上移除，从而暴露出发光外延结构另一表面的一部分，其中发光外延结构的另一表面与第一电性电极所在的表面相对。然后，在发光外延结构另一表面的暴露部分上形成第二电性电极，其中第一电性电极与第二电性电极的电性相反。

主权项

1、一种垂直型发光二极管，其特征在于，至少包括：一发光外延结构，具有相对的第一表面以及第二表面；一第一电性电极，位于所述发光外延结构的所述第一表面上；一局部移除的蓝宝石基板，位于所述发光外延结构的所述第二表面的第一部分上，并暴露出所述发光外延结构的所述第二表面的第二部分；以及一第二电性电极，位于所述发光外延结构的所述第二表面的所述第二部分上，其中所述第一电性电极与所述第二电性电极的电性相反。