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发明名称
VACUUM-ASSISTED PAD CONDITIONING SYSTEM AND METHOD UTILIZING AN APERTURED CONDITIONING DISK
摘要
申请公布号
EP1633527(A4)
申请公布日期
2007.05.09
申请号
EP20040753223
申请日期
2004.05.25
申请人
TBW INDUSTRIES, INC
发明人
BENNER, STEPHEN, J.
分类号
B24B1/00;B24B53/00;B24B53/007;B24B53/013;B24B53/02;B24B57/00;H01L21/306
主分类号
B24B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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