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发明名称 SUBSTRATE CARRIER HAVING REDUCED HEIGHT
摘要
申请公布号 KR20070048649(A) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 KR20067022681 申请日期 2006.10.30
申请人 APPLIED MATERIALS INC. 发明人 ELLIOT MARTIN R.;RICE. MICHAEL R.
分类号 H01L21/673 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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