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摘要
申请公布号
JP3912888(B2)
申请公布日期
2007.05.09
申请号
JP19980068368
申请日期
1998.03.18
申请人
发明人
分类号
H01L23/12;H01L21/60
主分类号
H01L23/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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