发明名称 集成电子传感器
摘要 一种集成传感器及其制造所述器件的方法,该器件包括在半导体衬底中的MOS电路,具有互连导体和绝缘电介质的互连级,所述级在衬底上并互连MOS电路,互连级包含具有嵌入互连电介质中的电极的传感器,以及MOS电路包括用于处理来自传感器电极的信号的处理器。
申请公布号 CN1961209A 申请公布日期 2007.05.09
申请号 CN200580017844.6 申请日期 2005.03.30
申请人 蒂莫西·卡明斯 发明人 蒂莫西·卡明斯
分类号 G01N27/22(2006.01);G01N27/12(2006.01) 主分类号 G01N27/22(2006.01)
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 王英
主权项 1、一种集成传感器器件,包括:在半导体衬底中的MOS电路,具有互连导体和绝缘电介质的互连级,所述级在该衬底上并对所述MOS电路进行互连,所述互连级包含具有嵌入该互连电介质中的电极的传感器,并且所述MOS电路包括用于处理来自该传感器电极的信号的处理器。
地址 爱尔兰克莱尔郡