| 发明名称 | 衬底周边部分测量装置以及衬底周边部分抛光设备 | ||
| 摘要 | 投射/接收单元(52)将激光投射到周边部分(30)上并接收反射光，同时液体被馈送给衬底(14)并在周边部分(30)上流动。信号处理控制器(54)处理反射光的电信号，以决定周边部分(30)的状态。监控正被抛光的周边部分的状态。而且，检测抛光结束点。还可以使用激光以外的其他传输波。周边部分(30)还可以用通道形成部件包围，从而适当地形成通道。甚至在液体在衬底周边部分上流动的情况下也能适当地测量周边部分。 | ||
| 申请公布号 | CN1960836A | 申请公布日期 | 2007.05.09 |
| 申请号 | CN200580017342.3 | 申请日期 | 2005.05.23 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 多田光男;须藤康成;市原博文;伊藤贤也;高桥圭瑞 |
| 分类号 | B24B49/12(2006.01);B24B9/00(2006.01);H01L21/304(2006.01);G01B11/30(2006.01);G01N21/956(2006.01) | 主分类号 | B24B49/12(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王英 |
| 主权项 | 1、一种用于测量衬底的周边部分的状态的衬底周边部分测量装置，包括：波收发器，用于在将液体馈送到所述衬底上并在所述周边部分上流动的同时将传输波传输到所述周边部分，并用于从所述周边部分接收反射波；以及接收波处理单元，用于处理所述反射波的信号以确定所述周边部分的状态。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||