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发明名称 Anti-reflection layer and manufacturing method and apparatus
摘要
申请公布号 GB2431931(A) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 GB20060018865 申请日期 2006.09.25
申请人 FU CHING TECHNOLOGIES CO LTD 发明人 JAU JIER CHU;HSU-FU HUNG;I-WEN LEE;CHIEN-MIN WENG;CHAO-LAN LEE
分类号 C23C14/34;C03C17/34;C23C14/02 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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