| 发明名称 |
类钻碳膜 |
| 摘要 |
本发明提供一种类钻碳膜，其由n层结构构成，n值为6～30，每一层的成分为含元素碳、氢及X的类钻碳，X为铬、或钛、或铬钛合金、或氮化铬，该类钻碳膜第m层的成分：a－C:H:(n－m+1)X，m值为1～n，由靠近基材的第一层至第n层，各层中X成分原子百分比含量逐渐减少。该类钻碳膜可作为保护膜，应用于模具、刀具或磁性存储介质等领域。 |
| 申请公布号 |
CN1958835A |
申请公布日期 |
2007.05.09 |
| 申请号 |
CN200510100975.2 |
申请日期 |
2005.11.01 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
陈杰良 |
| 分类号 |
C23C14/06(2006.01);C23C14/35(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种类钻碳膜，其由n层结构构成，n值为6～30，每一层的成分为含元素碳、氢X的类钻碳，X为铬、或钛、或铬钛合金、或氮化铬，该类钻碳膜的第m层的成分：a-C:H:(n-m+1)X，m值为1～n，由第一层至第n层，各层中X成分的原子百分比含量逐渐减少。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
