用于电化学加工微特征工件的腔室、系统和方法

摘要

在这里披露了用于电化学加工微特征工件的腔室、系统和方法。在一个实施方案，电化学沉积腔室包括一加工单元，它具有被配置为将第一加工流体流输送给微特征工件的第一流体系统。该腔室还包括一电极单元，它具有一电极和被配置为输送至少在电极附近的第二加工流体流的第二流体系统。该腔室还包括在加工单元和电极单元之间的无孔阻挡件，用来使第一和第二加工流体分开。该无孔阻挡件被配置为允许阴离子或阳离子流动穿过在第一和第二加工流体之间的阻挡件。

主权项

1.一种用于在微特征工件上沉积材料的电化学沉积腔室，该腔室包括：加工单元，包括被配置为向微特征工件运送第一加工流体流的第一流体系统；电极单元，与加工单元相连，电极单元包括电极和被配置为至少向电极附近运送第二加工流体流的第二流体系统；以及无孔阻挡件，位于加工单元和电极单元之间，以分离第一和第二加工流体，无孔阻挡件是允许阳离子或者阴离子穿过在第一和第二加工流体之间的阻挡件的材料。