用于扫描通过离子束的工件的往复驱动系统

摘要

提供一种用于扫描通过离子束的工件的往复驱动系统和装置，其中包括可操作成单独围绕第一轴线旋转的转子和定子的马达可被操作成相对于离子束往复移动工件。由转子可转动地驱动的轴沿着第一轴线延伸并且扫描臂可操作地连接到该轴上，其中扫描臂可操作成支撑位于其上的工件。马达引起的该轴的圆形反向旋转可操作成使扫描臂转动，由此沿着第一扫描路径扫描通过离子束的工件，其中定子作为转子旋转的反应质量。控制器还可操作成控制转子和定子之间的电磁作用力，由此大体上确定转子和定子的旋转位置。

主权项

1.一种用于扫描通过离子束的工件的往复驱动系统，所述往复驱动系统包括：与所述离子束相关联的处理室；可操作地连接到所述处理室的马达，所述马达包括转子和定子，其中所述转子和所述定子可操作以便各自围绕第一轴线旋转，其中在所述转子和所述定子之间的电磁力大体上确定了所述转子围绕所述第一轴线的旋转位置，和其中所述定子可操作，以便作为对所述转子的所述旋转的反作用质量；固定地连接到所述转子上的轴，其中所述轴沿着所述第一轴线延伸到所述处理室中；大体上位于所述处理室内的和可操作地连接到所述轴上的扫描臂，其中所述扫描臂包括可操作以支撑其上的工件的末端作动器，以及其中所述转子的所述旋转位置大体上确定了所述工件相对于所述离子束沿着第一扫描路径的位置；和控制器，其是可操作的，以便通过控制所述转子和所述定子之间的所述电磁力来控制所述工件沿着所述第一扫描路径的所述位置。