| 发明名称 | 含有乳酸酯的防腐剂 | ||
| 摘要 | 通过在铝基金属膜被蚀刻之前向铝基金属膜施加含乳酸酯的溶液可以使铝基金属膜的腐蚀最小化。在用腐蚀性的蚀刻剂蚀刻铝基金属膜之前将含乳酸酯的溶液施加到该膜上。使铝基膜的腐蚀最小化可以增加高反射性的像素阵列的成品率和性能，所述像素阵列由用于数字电视的硅上液晶(LCOS)微处理器中的铝基金属形成。 | ||
| 申请公布号 | CN1961409A | 申请公布日期 | 2007.05.09 |
| 申请号 | CN200580017351.2 | 申请日期 | 2005.06.14 |
| 申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | 亚当·R·斯蒂芬森;休·D·昌 |
| 分类号 | H01L21/302(2006.01);G02F1/136(2006.01);G02F1/1335(2006.01) | 主分类号 | H01L21/302(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王英 |
| 主权项 | 1、一种方法，包括：在半导体衬底上提供铝基金属膜；将含有乳酸酯的溶液施加到该铝基金属膜上；以及在将该含有乳酸酯的溶液施加到该铝基金属膜上之后蚀刻该铝基金属膜。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||