| 发明名称 |
method of forming a structure by a lithographic pattern |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1387216(B1) |
申请公布日期 |
2007.05.09 |
| 申请号 |
EP20030016539 |
申请日期 |
2003.07.23 |
| 申请人 |
HITACHI, LTD. |
发明人 |
HASEGAWA, MITSURU;MIYAUCHI, AKIHIRO |
| 分类号 |
G03F7/00;H01L21/027;B29C33/42;B29C43/00;B29C43/36 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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