发明名称 APARATO Y METODO PARA REVESTIR UN SUSTRATO
摘要 Un aparato para revestir un sustrato utilizando deposicion de vapor físico, que comprende una cámara al vacío en donde se coloca una bobina para mantener una cantidad de material conductivo en levitacion y para calentar y evaporar dicho material, utilizando una corriente eléctrica variable en la bobina del material levitado. De acuerdo con la invencion, un aparato de caracteriza porque los medios de aislacion son parte de un contenedor hecho con material no conductivo, en donde el contenedor posee una o más aberturas para guiar al material conductivo evaporado al sustrato a ser revestido. También se refiere a un método para revestir un sustrato utilizando deposicion de vapor físico.
申请公布号 AR053487(A1) 申请公布日期 2007.05.09
申请号 AR2006P102147 申请日期 2006.05.24
申请人 CORUS TECHNOLOGY BV 发明人
分类号 (IPC1-7):C23C14/22;C23C14/24;C23C14/26 主分类号 (IPC1-7):C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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