发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS HAVING SENSOR DETECTING WAFER INSTALLED |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20070048546(A) |
申请公布日期 |
2007.05.09 |
申请号 |
KR20050105744 |
申请日期 |
2005.11.05 |
申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
CHOI, YOUNG JIN |
分类号 |
H01L21/68;H01L21/22;H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/68 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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