发明名称 CHAMBER EXHAUST APPARATUS FOR FLAT DISPLAY PANEL
摘要
申请公布号 KR20070048035(A) 申请公布日期 2007.05.08
申请号 KR20050105019 申请日期 2005.11.03
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 PARK, GI HONG
分类号 H01L21/02;G02F1/13 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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