METHOD FOR ASHING SUBSTRATES,申请号KR20060072615-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR ASHING SUBSTRATES
摘要
申请公布号	KR100718276(B1)	申请公布日期	2007.05.08
申请号	KR20060072615	申请日期	2006.08.01
申请人	SEMES CO., LTD.	发明人	MUN, SANG MIN;LEE, KI YUNG;KIM, HYUNG JOON
分类号	H01L21/3065;H01L21/027;H01L21/304	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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