| 主权项 |
1.一种探针接触检测方法,使用至少具备一根探针 的探针装置,检查至少具备一个电极之被检体之电 气特性,该探针方法系具备下记特征: (a)将被检体的电极进行还原处理; (b)令被检体的电极和探针接触; (c)对探针施加用以形成电熔现象(flitting)之电压, 藉由该电压所形成的电熔现象会使电极与探针在 电气导通状态下接触。 2.如申请专利范围第1项之探针方法,其中该(a)的还 原处理,系包含将被检体加热。 3.如申请专利范围第1项之探针方法,其中该(b)之接 触,系令两根探针接触一个电极。 4.如申请专利范围第1项之探针方法,其中该探针装 置系具备测试仪电路,该(c)之用以使探针形成电熔 现象的电压,系由测试仪电路的驱动器提供。 5.如申请专利范围第1项之探针方法,其中被检体的 电极,系具有铜或铜合金。 6.如申请专利范围第1项之探针方法,其中复具备: 在该(a)的还原处理之后,令被检体的周围充满非氧 化性气氛。 7.一种探针装置,至少具备一根探针,检查至少具备 一个电极之被检体之电气特性,该探针装置系具备 下记机构: 使用对被检体的电极有还原性之气体以进行还原 处理之还原处理机构; 藉由促使被检体和探针中之至少一者的移动,使被 检体的电极与探针接触之移动机构; 用以对探针施加用来形成电熔现象之电压的电源 电路,该电压施加至探针所致的电熔现象使电极与 探针在电气导通状态下接触。 8.如申请专利范围第7项之探针装置,其中 被检体之电极与探针接触之机构中一接触被检体 之一个电极的探针系一对探针; 电源电路系具有用以在一对探针间施加电压的电 源,及使电源与探针间电气连接开关的切换机构, 及控制切换机构之开关动作的控制器。 9.如申请专利范围第7项之探针装置,其中 该探针装置具备测试仪电路,电源电路的电源系该 测试仪电路的驱动器。 10.如申请专利范围第7项之探针装置,其中复具备 使经过还原处理之被检体周围充满非氧化性气体 之非氧化性气体供给机构。 11.如申请专利范围第7项之探针装置,其中复具备 加热被检体之加热机构。 图式简单说明: 图1系本发明之探针装置的实施形态剖面图。 图2A、2B系表示图1所示之探针卡,图2A是其分解侧 面图,图2B系其方块图。 图3A、3B系表示两根探针长度不同时的动作概念图 ,图3A是电熔动作时的侧面图,图3B是探针检查动作 时的侧面图。 图4系本发明之其他实施形态所用之探针卡的要部 方块图。 图5系本发明之又一其他实施形态所用之探针卡的 要部方块图。 图6系本发明之实施例所用之电熔特性测定装置的 概念图。 图7A~7C系铜膜晶圆试料还原后暴露在大气的时间 与经过该电熔后之接触电阻値的关系图。 图8A~8C系铜膜晶圆试料还原后暴露在大气的时间 与经过该电熔后之接触电阻値的关系图。 |
