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1.一种具有可散热之反射镜的发光二极体的制造 方法,包含: (a)在一基材上以半导体材料磊晶形成一可以光电 效应产生光的磊晶层单元; (b)在该磊晶层单元上以可供光穿透且可导电的材 料形成一透明导电层; (c)分别形成与该磊晶层单元与该透明导电层相欧 姆接触的二电极; (d)薄化该步骤(c)所制得之半成品的基材; (e)选择至少一种可使光产生负折射的材料,在经过 该步骤(d)所制得的半成品的基材底面,形成奇数层 使光通过时分别均产生负折射的折射膜;及 (f)选择至少一具有高反射率与高热传导率的材料 在该最上层之折射膜上形成一使光通过时可反射 光的反射膜,使该奇数层折射膜与该反射膜共同构 成一可将透过该薄化后之基材射出的光完全反射 的反射镜,制得该具有可散热之反射镜的发光二极 体。 2.依据申请专利范围第1项所述具有可散热之反射 镜的发光二极体的制造方法,其中,该步骤(b)具有 (b1)在不大于8 10-3Torr的真空环境压力,及预定含氧 比例的气氛中形成该透明导电层, (b2)在选自由惰性气体之组合的气氛中,以高温进 行该透明导电层表面晶粒的改质。 3.依据申请专利范围第1项所述具有可散热之反射 镜的发光二极体的制造方法,其中,该步骤(c)是选 自由下列所构成的群组为材料形成该二电极:铬、 铂、金、铝、钛、镍,及此等之组合。 4.依据申请专利范围第3项所述具有可散热之反射 镜的发光二极体的制造方法,其中,该步骤(c)更在 选自钝性气体之组合的气氛中,以100℃~800℃的温 度作用0.5~80分钟,使构成该二电极之金属/合金进 行融合。 5.依据申请专利范围第1项所述具有可散热之反射 镜的发光二极体的制造方法,其中,该每一折射膜 是分别选自由下列所构成的群组为材料形成:氧化 矽、氧化钛、氧化铝、氢化矽(SiNx),及此等之组合 。 6.依据申请专利范围第1项所述具有可散热之反射 镜的发光二极体的制造方法,其中,该每一折射膜 的厚度介于100~10000。 7.依据申请专利范围第1项所述具有可散热之反射 镜的发光二极体的制造方法,其中,该反射膜是选 自由下列所构成的群组为材料形成:金、铝、银、 铑、钛、铟、铜、铂、钯、铬、镍,及此等之组合 。 8.依据申请专利范围第1项所述具有可散热之反射 镜的发光二极体的制造方法,其中,该反射膜的厚 度介于100~10000。 图式简单说明: 图1是一示意图,说明一习知的具有反射镜之发光 二极体; 图2是一流程图,说明本发明一种具有可散热之反 射镜的发光二极体的制造方法的一较佳实施例;及 图3是一示意图,说明以图2之流程制得之发光二极 体。 |
