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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATES USING PLASMA
摘要
申请公布号 KR100718275(B1) 申请公布日期 2007.05.08
申请号 KR20060072614 申请日期 2006.08.01
申请人 SEMES CO., LTD. 发明人 KONG, BYUNG YUN;HWANG, JIN TAI;CHOI, SEOK MIN
分类号 H01L21/3065;H01L21/205 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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