发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20070047587(A) 申请公布日期 2007.05.07
申请号 KR20050104478 申请日期 2005.11.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOUN, YEO IL
分类号 C23C16/455;C23C16/44 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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