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发明名称 METHOD OF FORMING A COPPER WIRING IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20070047510(A) 申请公布日期 2007.05.07
申请号 KR20050104335 申请日期 2005.11.02
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 PARK, JONG HYUK;KO, CHANG JIN
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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