发明名称 METHOD OF FORMING A GATE STACK AND METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20070047399(A) 申请公布日期 2007.05.07
申请号 KR20050104087 申请日期 2005.11.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, JAE HWA;KIM, BYUNG HEE;PARK, HEE SOOK;LEE, JANG HEE
分类号 H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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