基板处理装置、化学式氧化物除去(COR)处理模组及基板抬高装置

摘要

本发明之课题提供一种可防止成膜不良之基板处理装置。本发明之解决手段CVD处理装置10之PM11具备反应室23，该反应室23具有容器32、配置于该容器32内之ESC33、及配置于容器32内之晶圆抬高装置80；晶圆抬高装置80，系具有在容器32内配置为包围ESC33的圆环状针支撑器81，和连接于针支撑器81的3支抬高臂83，和活嵌结合于各抬高臂53而被支撑的3支抬高针42；各抬高针42，系连动于针支撑器81之升降而升降。