| 摘要 |
本发明提供用于防止由一自一处理室抽取一废气流之唧送机构点燃的一燃烧焰面扩张之装置及方法。该装置包括一用于将自该处理室抽取之该废气流传送至该唧送机构之前级管道。该前级管道包括一用于选择性地使该唧送机构与该处理室隔离之隔离阀及一围绕该隔离阀安置之旁路。该装置进一步包括一用于致动该隔离阀之控制器。该控制器经组态以当最初自该处理室抽取该废气流时致使该隔离阀关闭。在此期间该废气流经由该旁路被传送至该唧送机构，该旁路包括用于防止一燃烧焰面经由其中扩张之构件。该控制器亦经组态以在该隔离阀上游一区域内之压力已降至低于一可抑制一燃烧焰面在该废气流内扩张之压力值后即刻使该隔离阀打开。 |
