一种微机电质谱仪

摘要

一种具有若干连接于一盖与一底座间之金属壁之微机电质谱仪，该等壁界定复数个内室，包括若干样气输入室、一离子发生器室、复数个离子光学室与一离子分离室。该离子分离室端部之一探测器阵列包括复数个沿两平行线安置、用于拦截该质谱仪中所产生之所有离子化束之V形探测器元件。