| 摘要 |
一种可变毛细沟槽薄膜节流器，系由基座、本体、外壳及可挠曲薄膜所构成，其中本体具有金属薄膜、毛细沟槽与稳压腔室，可挠曲薄膜紧固于本体之顶侧，并于本体之一侧凹槽区域形成稳压腔室，薄膜装配于本体并组合外壳，与外壳之内部一侧凹槽形成一调节腔室，基座并具有连通调节腔室与稳压腔室的注入流道，与连通稳压腔室的出口流道，当外部的负载端之流动压力大于调节室时，可挠曲薄膜将受力挠曲而使薄膜与本体毛细沟槽区域产生作动间隙，致使本体上薄膜覆盖的毛细沟槽开口变大，因此，通过毛细沟槽的流体阻力变小，使得节流器可依负载端的压力变化，而使流阻范围大，达到反馈负载端出口流道压力之功能，适应单一机台负载变化大的情况，也因具有广泛的压力及流量调节作用，而单一设计适用在广泛的机台。 |
