水中微粒去除装置及方法

摘要

本发明系关于一种水中微粒之去除装置及方法。该装置包含：一快混槽、一慢混槽及一沉淀／薄膜槽；其特征在于：前述沉淀／薄膜槽中包含一沉淀区，用于使前述慢混槽出流水中之胶羽沉淀；及一薄膜过滤区，用以过滤经前述沉淀区沉淀后之水。前述沉淀区及薄膜过滤区系由隔板区隔且两区域具有开口可相互连通，其中前述薄膜过滤区系设置于相对于沉淀／薄膜槽底一偏高处。本发明之处理装置较佳系用于处理例如化学机械研磨(CMP)废水或中、高浊度之原水。