硫属物理气相沈积元件

摘要

本发明系揭示一种硫属PVD元件，其包括一第一固体与一第二固体颗粒之黏合混合物。该第一固体含有第一化合物。该颗粒混合物可显示一较该第一化合物中元素之固体相变温度为高之最小固体相变温度。该颗粒混合物可显示一较该第一化合物中元素之固体相变温度为低之最大固体相变温度。该第一化合物可为一致熔融线性化合物。该黏合混合物可无熔融区或昇华间隙。该颗粒混合物可呈现一包括三种或更多元素之总体配方。该颗粒混合物可包括两种或更多线性化合物。