用于半导体制作之曝光机台

摘要

一种用于半导体制作之曝光机台，包括一提供光线之光源、一位于光线路径中以控制光线通过之快门元件、一位于光线路径中以供切换过滤之光线波长之切换式光线过滤元件、及一位于光线路径中以使光线对准曝光标的物之镜头。本发明之曝光机台可选择切换G、H、I线光源等等，以配合光阻材料进行曝光，获得优异之光阻图形。