用于带至带转移模组之方法与设备

摘要

一种根据本发明之带至带转移模组系可以与一基材承载件传送系统或其他系统一同使用，以从一运输装置转移基材承载件(例如小批次基材承载件)至另一运输装置，或在同一运输装置上之两点之间转移基材承载件。基材承载件之转移(例如抓取与置放)可以在行进于不同速度之运输装置之间进行。本发明揭示许多其他态样与特征。