研磨垫与其制造方法

摘要

一种黏着层与研磨层之间具有均匀的黏着力之研磨垫与其制造方法。此研磨垫的制造方法有两种，一种为先在研磨层上压制黏着层之后，再图案化研磨层即可。另一种为先制造具有与研磨层的图案互补之互补垫，将互补垫堆叠于图案化之研磨层的上方，形成具有平整外形之复合垫。然后于研磨层之另一面压制黏着层，再移除互补垫即可。