具有一体成形测力器之化学储存装置

摘要

一种化学储存装置，以及一种监控化学品使用之方法被描述于本文。该装置与已揭示的方法运用一化学储存罐以及一被整合成一可运送单元的测力器。该测力器能够补偿半导体工业中而使用的随附分配装置之添加重量。此外，当该等化学品从该化学储存装置撤出时，该测力器能连续显示该等化学品的重量。这些功能是被包含在一被合并于该测力器本身中的测力器控制逻辑电路内。