非晶质奈米碳线成长方法

摘要

一种非晶质奈米碳线成长方法，其主要由基板上依序披覆有黏着层及催化金属层，通入含碳氢气体并控制成长温度在400度～650度，使碳原子经扩散至催化金属层所形成之催化金属颗粒内，碳氢分子直接沉积于催化金属颗粒上，而由催化金属颗粒向上生长，而可在低温的条件下获得非晶质奈米碳线(amorphous carbonnanowires)。