发明名称 | 奈米碳管制备设备 | ||
摘要 | 本发明涉及一种奈米碳管制备设备,其包括一反应腔及一导流装置。该反应腔包括一第一进气口及一第一出气口;该导流装置位于该反应腔内,其包括一气体输送管、一第二进气口及一第二出气口,其中该气体输送管用于向导流腔内提供反应气体,其一端与所述第一进气口密封套接,另一端与所述第二进气口密封套接,该第二进气口相对于用于生长奈米碳管之基底竖直设置,该第二出气口位于该第二进气口相对之一侧,该第二出气口与该第一出气口连通。 | ||
申请公布号 | TW200716783 | 申请公布日期 | 2007.05.01 |
申请号 | TW094137884 | 申请日期 | 2005.10.28 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 萧博元 |
分类号 | C23C16/455(2006.01);C23C16/26(2006.01);C01B31/04(2006.01);C23C16/44(2006.01) | 主分类号 | C23C16/455(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |