涂布装置及涂布方法

摘要

提供容易地可决定开缝喷嘴的平行基准及高度基准，并正确地可进行涂布时的基板表面与开缝喷嘴下端之距离的微调的涂布装置。在基板载置部3的涂布开始位置侧的侧面宽度方向的两端，分别安装有用以决定开缝喷嘴5的水平基准及高度基准的基准工模6、6。该基准工模6是具有可昇降的测长子8，而该测长子8是藉由弹簧等朝上方被弹推，其下降源是测长子8的上面与基板载置部3的上面作成同一面的位置，将该位置作为高度方向的基准点。