制膜方法及形成图案方法及使用此等之电子装置的制造方法

摘要

本发明系以提供由利用反应活性种之化学种，可简单地形成膜之制膜方法，或形成图案方法为目的之一。本发明系提供由至少1个喷嘴吐出化学种或其前驱物，在基体上配置由上述化学种所构成之多层的膜之制膜方法。本发明系提供由至少1个喷嘴吐出化学种或其前驱物，配置由该化学种所构成多层的膜之形成图案方法。另外，本发明系提供使用上述制膜方法或形成图案方法之电子装置的制造方法。