| 摘要 |
本发明揭示一种可调谐反熔丝元件(102、202、204、504、952)及其制作方法，其包含一具有于一表面上会形成一作用区域(106)的基板材料(101)，一具有至少一部份设置在该作用区域(106)之上的闸极电极(104)，以及一设置在该闸极电极(104)与该作用区域(106)之间的介电层(110)。该介电层(110)包含一可调谐步阶结构(127)之一之制造。于操作期间，一被施加在该闸极电极(104)与该作用区域(106)之间的电压会创造一条贯穿该介电层(110)的电流路径并且于复数个破坏区(130)中该介电层(110)之一破坏。藉由改变该步阶层厚度与该层的几何图案便可调谐该介电层(110)。 |
