| 摘要 |
一种基板对准器提供最小基板运输装置延伸与收缩运动以在增进基板处理的通过量之时而无后侧损坏情况下快速调正基板。在一个具体实施例中，对准器具有一个连结至一具有一种能在不须将基板旋转再定位之情况下从夹头转移基板至运输装置之基板转移系统的构架的倒置夹头。倒置夹头消除对准器对基板基准的阻碍且连同转移系统，容许调正期间运输装置继续存在在框架里面。在另一个具体实施例中，对准器具有一连结至一构架的可转动感测器及一带有透明支承块之基板支架用于调正期间支承基板，如此，运输装置可于调正期间继续存在于框架内。基板对准系在支承块上不依靠基准定点而完成者。在其它具体实施例中，基板支承应用一种缓冲系统在装置内缓冲处理基板让基板快速调换。 |
