加热单元及具备该单元之装置

摘要

本发明提供一种冷却中，尤其在急速冷却中被加热物之均热精度进而得到改善之加热单元。本发明之加热单元，其特征在于：包含用于搭载被加热物来进行加热处理之加热基板(302)及用于冷却该加热基板(302)之冷却模组(303)，并且在上述加热基板(302)与冷却模组(303)之间配置有介在物(332)。利用介在物(332)之变形性，相比于未配置介在物(332)之情形，可减少非接触部分之比例，可提高冷却时加热基板(302)之温度均匀性。