全氟,氢氟碳及全氯碳,氢氯碳化合物气体之分解触媒及制造方法

摘要

本发明系提供一种可分解全氟，氢氟碳及全氯碳，氢氯碳化合物气体之分解触媒及其制造方法，该触媒至少包含有之高表面积耐高温载体与有效分解成份，该有效分解成份则进一步包含过渡金属氧化物及磷酸盐类等；将上述组成物混合、造粒、烧结、浸泡及乾燥后，即形成可分解全氟化物及氟氯化合物气体之分解触媒，特别适用于半导体及液晶面板制程中，乾式蚀刻(Dry Ecth)与化学气相沉(CVD)所排出的全氟，氢氟碳及全氯碳，氢氯碳化合物气体之分解。