用于大量生产之连续金属沈积装置

摘要

本发明揭示一种用于持续金属沈积之装置。该装置包括：至少一位于一室之底表面的外壳20；两个或多个容纳于该外壳内之金属船体30；以及一冷却该外壳20及该等金属船体30之冷却单元。特别地，该室具有一对外壳20，每一外壳之内容纳四个金属船体30。该装置进一步包括一传送单元，用以在该室内水平传送该外壳20。该装置允许持续沈积一金属薄膜，而不用为替换该等船体而破坏该沈积室之真空状态。