发明名称 具有镜摄影的晶圆结构
摘要 本发明提供一种具有镜摄影之晶圆结构。根据本发明之晶圆结构包含进行镜摄影之第一镜摄影区域,其中基于所述第一镜摄影区域来搜寻第一晶粒之位置。所述晶圆结构更包含进行所述镜摄影之第二镜摄影区域。所述第二镜摄影区域位于所述第一镜摄影区域之对角上。
申请公布号 TW200717683 申请公布日期 2007.05.01
申请号 TW095137664 申请日期 2006.10.13
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 金映旲;金 永
分类号 H01L21/66(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 H01L21/66(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 韩国