于一基板上用以检查微电子元件之方法及检测装置

摘要

一种用以检测一基板上之微电子元件的装置，包含：一扫描器，根据依序逐一扫瞄方式，利用一光束扫描设置于一平面显示器基板上之复数个薄膜电晶体上，并根据依序逐一感应方式，在该复数个薄膜电晶体中感应出一光电导通回应；一电流感应电路，系与该扫描器同步运作，用以量测关联于一电晶体之该光电导通回应之感应输出，并产生光电导通回应之输出值，该光电导通回应之输出值代表在该复数个薄膜电晶体中依序逐一由该光束感应之一光电导通回应；以及一侦错装置，用以分析该电气回应输出值并纪录每一电晶体之特征。