发明名称 |
芳杯(CALIXRESORCINALENE)化合物、包含其之光阻材料及其组合物 |
摘要 |
本发明之芳杯化合物,其系以式(1)表示:[式中,8个R系由选自n个(n为1~7之整数)以下述式(2)表示之基之1种以上之取代基、与m个(以m=8-n表示之整数)氢原子组成;R'系碳原子数2~12之直链状脂肪族烃基、具有碳原子数3~12之分枝之脂肪族烃基、苯基、对-苯基苯基、对-第三丁基苯基、以下述式(3)表示之芳香族基、或组合该等取代基中之2种以上而构成之取代基;又,R'可相同亦可相异。[式中,R"系氢原子或选自以式(2)表示之基之取代基]]。 |
申请公布号 |
TW200716539 |
申请公布日期 |
2007.05.01 |
申请号 |
TW095119447 |
申请日期 |
2006.06.01 |
申请人 |
木下博雄;渡边健夫;出光兴产股份有限公司 |
发明人 |
木下博雄;渡边健夫;石井宏寿;大和田贵纪 |
分类号 |
C07C69/712(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C07C69/712(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
日本 |