发明名称 芳杯(CALIXRESORCINALENE)化合物、包含其之光阻材料及其组合物
摘要 本发明之芳杯化合物,其系以式(1)表示:[式中,8个R系由选自n个(n为1~7之整数)以下述式(2)表示之基之1种以上之取代基、与m个(以m=8-n表示之整数)氢原子组成;R'系碳原子数2~12之直链状脂肪族烃基、具有碳原子数3~12之分枝之脂肪族烃基、苯基、对-苯基苯基、对-第三丁基苯基、以下述式(3)表示之芳香族基、或组合该等取代基中之2种以上而构成之取代基;又,R'可相同亦可相异。[式中,R"系氢原子或选自以式(2)表示之基之取代基]]。
申请公布号 TW200716539 申请公布日期 2007.05.01
申请号 TW095119447 申请日期 2006.06.01
申请人 木下博雄;渡边健夫;出光兴产股份有限公司 发明人 木下博雄;渡边健夫;石井宏寿;大和田贵纪
分类号 C07C69/712(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 C07C69/712(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本