位置测定装置、绘图装置及位置测定方法及绘图方法

摘要

本发明之一样态之位置测定装置之特征在于：具备可移动之平台；测定部，其使用雷射，测定平台之移动位置；第1滤波器，其使特定频率区域之成分自测定部之测定值衰减；第2滤波器，其与第1滤波器并联连接，使除特定频率区域以外之成分衰减；第3滤波器，其与第2滤波器串联连接，使上述特定频率区域之成分衰减；以及合成部，其将通过第1滤波器后之测定值与通过第2及第3滤波器后之测定值合成，并将所合成之合成值输出。