羰基金属前驱物之纯化方法

摘要

一种在金属前驱物蒸发系统中的羰基金属前驱物纯化方法，其中该羰基金属前驱物包含金属微粒杂质。该方法包含：使含CO气体流过该羰基金属蒸发系统而到达与该金属前驱物蒸发系统作流体交流的前驱物收集系统，以分离该羰基金属前驱物与该金属微粒杂质并将该羰基金属前驱物输送至该前驱物收集系统；及在该前驱物收集系统中收集经输送的该羰基金属前驱物，其中在该前驱物收集系统中的该金属微粒杂质量系低于该金属前驱物蒸发系统，并将该前驱物收集系统维持在低于该金属前驱物蒸发系统的温度。可监测羰基金属前驱物参数以决定羰基金属前驱物的状态以及是否需要纯化羰基金属前驱物。