电浆反应器中离子密度、离子能量分布及离子解离之独立控制

摘要

本发明系为一种在电浆反应器中处理工件的方法，包括：将来自具有三个各自频率的至少三个RF功率源的RF功率耦合到反应器中的电浆；藉由选择介于至少三个RF功率源中的第一对RF功率源的功率层级之间的比率而设定离子能量分布形态；并且藉由选择介于至少三个RF功率源中的第二对RF功率源的功率层级之间的比率而设定离子解离和离子密度。所述三个频率可以是LF频率、HF频率或VHF频率，其中所述第一对RF功率源相应于LF频率和HF频率，而第二对RF功率源相应于HF频率和VHF频率。另外，所述功率源包含四个RF功率源，其中第一对RF功率源相应于HF频率和LF频率，而第二对RF功率源相应于VHF频率。