加热装置及涂布显影装置

摘要

[要点]在具有冷却板以及热板之加热装置中，减少过头时间而提供产能，且减少对于基板之粒子之附着量。[解决手段]加热装置，系具有：设置于框体20内，用为在基板内加热处理晶圆W之在一方侧设置有用为搬入搬出晶圆W之开口的扁平加热室4；将该晶圆W自上方侧以及下方侧而加热之方式而设置于该加热室4上之热板44、45、在该框体内而邻接于该加热室4之开口侧而被设置，将经由热板44、45而被加热之晶圆W予以冷却之冷却板3；被设置于该框体20内而在该晶圆W在冷却板3之上方侧之位置时，而在与加热室4之内部间而搬送，而以该加热室4内晶圆W被保持之状态而进行基板之加热处理的一搬送手段。