| 发明名称 |
复合固定环 |
| 摘要 |
本文叙述一种两件式固定环(two part retaining ring)，其具有一下环与一上环。该下环在化学机械研磨过程中接触一研磨表面。该下环的上表面与下表面中具有多个配对沟槽(matching grooves)，以提升该下环的挠性(flexibility)。 |
| 申请公布号 |
TW200716299 |
申请公布日期 |
2007.05.01 |
| 申请号 |
TW095114467 |
申请日期 |
2006.04.21 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
吴正勋;陈志宏;伯瑞罗斯基汤玛斯B BREZOCZKY, THOMAS B.;麦克艾力斯特道格拉斯R MCALLISTER, DOUGLAS R.;霍达通大卫 |
| 分类号 |
B24B29/00(2006.01);B24B47/02(2006.01) |
主分类号 |
B24B29/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
